microaccelerometer相关论文
通常情况，梳状微加速度计具有对称结构。但是加工工艺的缺陷可能导致梳状微加速度计的弹性梁不对称，引起结构发生扭转运动。对于双端......
讨论了微机电固态引信核心子系统(即微传感器系统)的硅微结构设计和分析，并针对典型的弹性质量系统，建立了其过载变形的模型，给出了用......
采用结构力学的力法，建立了求解交指式微结构加速度传感器刚度的力学模型。与材料力学方法相比，简化了推导过程，得到了便于微机计算的......
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,......
微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展，单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟，多轴微加速度传感......
设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构，建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底“接触”前后......
用广义板理论和有限元平板壳元素与三维实体元素的组成方法，建立了微型加速度传感器整体的有限元分析模型。对模型进行了静态和动态......
微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数，目前多采用有限元分析获取这一参数，但该方法难于给......
针对微加速度计摆片废品率高的问题,从摆片的加工工艺,分析了PWM数字微加速度计温度应力对摆片刚度的影响;发现当摆片工作在不同状......
将ＩＣ工艺与ＬＩＧＡ工艺结合，在硅基上用镍材料制作高精度电容式双轴微加速度传感器，根据力学原理并结合所采用的工艺特点，对该器件结构进行优化......
